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磁控濺射鍍膜與等離子體化學氣相沉積鍍膜的區別?

我就知道一個是物理氣相沉積,一個是化學氣相沉積,其他的都不是很了解,他們的具體原理上的區別?
提問者:網友 2017-06-21
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樓主概念不對膜層一般為蒸發鍍膜、濺射鍍膜、噴涂鍍膜、電離鍍膜等方法。濺射鍍膜過程中,在靶與基體之間形成了含有離子、電子、中性原子團組成的對外顯中性的氣體,這就是等離子體。濺射鍍膜過程分為物理氣象沉積、化學氣象沉積、物理/化學氣象沉積他們都是在等離子體中形成的。物理氣象沉積,是等離子體中的正離子轟擊靶表面轟擊來的分子/原子濺射到基體表面,飛行過程中并為發生任何反應。化學氣象沉積,是等離子體中的正離子轟擊靶表面轟出來的分子/原子濺射到基體表面,飛行過程中發生了化學反應。不過一般的磁控濺射都是物理、化學氣象沉積的共同結果。我這樣說樓主是否能夠清楚一些?
回答者:網友
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