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關于不銹鋼中頻磁控濺射真空鍍膜

請不要摘抄別的文獻方面東西，要實踐的資料，為謝1：以不銹鋼為基材，會出現什么不良？要怎么改善？2：現場操作應該注意什么方面的問題？附著力怎么改善？3：鍍鈦和鉻，會出現什么問題？怎么改善？怎么做出各種顏色？4：工作真空值是-3PA，中頻頻率一般多少為佳？改變頻率會出現什么問題？5：不銹鋼中頻濺射的整套工藝？包括前處理，出貨包裝等期待高手詳細解答，回答好再送300分`: 問提問者：網友 | 2017-07-27

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首先要說的是,中頻電源主要用于如TiC,或CrC之類靶材易中毒的膜層,如果是鍍純鈦或純鉻,那么,用直流電源就足夠了.又或是TiN, CrN之類鍍膜, 當然中頻電源更好,但是用直流電源,特別是薄涂層,也可以做到.不銹鋼分奧氏體不銹鋼(如SUS316, SUS304, 1Cr18Ni9Ti)和馬氏體不銹鋼(如136,403,3Cr13)兩種.對于裝飾性件,如表帶\表殼,一般使用的是奧氏體不銹鋼,對于塑膠模具,特別是鏡面模具,則很多使用馬氏體不銹鋼.兩種材料鍍膜方法有不同.根據你提問猜測,你需要的是奧氏體不銹鋼材料上鍍CrC, TiC裝飾涂層. 1.這些材料硬度不高, 而CrC, 特別是TiC硬度很高,而且與基體結構相差過大,所以前面一定要打純金屬底層,和過渡層,才能保證結合力. 2.現場操作中,CrC比TiC容易保證結合力.如果是非光面產品,可以選用較高的偏壓離子清洗.對于TiC,要保證結合力最好能加熱到300度成膜, 在180度下使用脈沖偏壓電源也可以得到較好的效果. 3.鍍鈦和鉻,一般得到金屬本身的顏色.要做顏色,就要加入相應的反應氣體.如加入氮氣,控制氮氣分壓,則分別得到銀色的CrN,黃色的TiN;如加入乙炔,則根據乙炔加入量與氬氣比例的由少到多,分別得到灰色或黑色的CrC,TiC.要注意防止設備漏氣,增加遮擋不可見光的屏蔽條,否則,顏色會含雜色. 4.中頻頻率一般用40~50KHz.頻率太高,會降低濺射率,頻率太低,靶材容易中毒; 5.以TiC為例,不銹鋼中頻濺射成膜的主要流程是:前清洗,上架,預抽真空,加熱,偏壓電源高壓離子清洗,偏壓電源常壓離子清洗,鍍Ti底層,鍍TiN過渡層,鍍TiC.包裝前,有需要的,還要做UV噴涂.實際上,現場處理千變萬化,很難用簡單文字面面具到.如果你是有實際上線需要,那么建議你還是挖一個現成的鍍膜高手,或則自己去專業鍍膜廠實際干一兩個月,才是最好的解決辦法.: 回答者：網友

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