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微機電系統中常用哪些類型的傳感器

提問者:網友 2018-08-27
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微機電系統中的傳感器主要指機械式傳感器。包括: 微加速度傳感器,微壓力傳感器,微角速度傳感器(微陀螺儀),微聲壓傳感器(微麥克風), 微懸臂梁式生化傳感器(包括靜態式,諧振式)(原理:生化反應引起表面應力變化及附加質量效應,從而導致微懸臂梁的靜態變形和諧振頻率變化) 濕度傳感器,溫度傳感器,磁場傳感器等
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